分子泵的性能原理及結構都是怎樣的呢？

　　常規的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造，使得葉片轉速不斷提高的同時，更使分子泵適合超高真空系統，也延長了分子泵的使用壽命。

　　分子泵與油封式旋片泵和渦輪式干泵相比，工作環境更加清潔，而且可以達到*的真空度。但是，分子泵不能在大氣壓下工作，必須和其他能夠在大氣壓下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或渦輪式干泵)聯合使用。分子泵構造復雜、價格昂貴，高速旋轉工作時會有振動。

　　分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。

　　分子泵在電機的帶動下高速旋轉，采用變頻電源驅動電機，目的是得到較高的轉速。在分子流區域內，氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上，產生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動的現象稱為分子牽引現象，利用這一現象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優點是啟動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故降，而且制造困難，實際上很少應用。