談談安捷倫分子泵的各項特點

　　安捷倫分子泵是一種高速旋轉的機械泵，因此對平衡的要求很高，對固體異物非常脆弱，通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。常規的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造，使得葉片轉速不斷提高的同時，更使分子泵適合超高真空系統，也延長了分子泵的使用壽命。

　　安捷倫分子泵的各項特點：

　　1、清潔無油蒸汽返流

　　干式操作：分子泵可以在無任何潤滑油的情況下運行，從而為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境。

　　消除碳氫化合物：現代渦輪分子泵通過采用空氣軸承或磁懸浮軸承技術，完q杜絕了油蒸汽返流的問題，確保了工作環境中不含有任何碳氫化合物。

　　2、使用方便

　　簡單啟動：渦輪分子泵只需按電鈕即可開始工作，無需高真空或粗真空閥，可以從大氣壓力降z極限壓力。

　　靈活安裝：渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝，占用空間小，適用于安裝位置受限的地方。

　　3、氣體輸送能力強

　　輕氣體輸送：大多數渦輪分子泵對輕氣體（如氫、氦）的輸送能力很強，特別適用于超高真空下的工藝操作。

　　耐腐蝕設計：有專門設計的渦輪分子泵用于抽除腐蝕性氣體，適用于刻蝕、反應離子刻蝕等工藝操作。

　　4、超高真空應用的適用性

　　高極限真空：一臺密封良好的渦輪分子泵，配以性能良好的前級泵，其極限真空可達到10^-10 Torr（即13.33 nPa）之間。

　　滿抽速運轉：與低溫泵或離子泵不同，渦輪分子泵在超高真空條件下仍能滿抽速運轉，這使它在高分辨率質譜儀等設備上得到廣泛應用。

　　5、高壓力下性能良好

　　穩定性強：某些渦輪分子泵的入口壓力可在10^-3^至10^-10^Torr（即13.33 Pa至13.33μPa）之間運行，在這個壓力范圍內，其他類型的泵會變得不穩定。

　　6、循環時間短

　　快速啟動停止：多數渦輪分子泵在較短時間內（大約3分鐘）即可達到正常運行速度，并且能立即關閉并暴露于大氣壓，這種快速循環特性在樣品輸入系統中非常有用。

　　7、使用壽命長

　　抗重氣體負荷和閥門漏氣：在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，渦輪分子泵的使用時間要比其它泵更長，且不會因泵油污染真空室。